勻膠機 產品型號：AC200-SE

此款勻膠機就有兩大類形號：AC200-SE是規定參數，AC200-PE是技術參數；AC200高精度勻膠機不是種長安小型、靈便和區域經濟的三維旋轉勻膠產品，這不是種程控系列伺服型高精度勻膠機，能保證 總價值1000萬歐元產品上也能起到的平衡性和均勻分布性。這輛產品利用了不銹鋼材料外層，愈加耐力和美觀大方；利用了實業等級的200W的伺服控制器減速機體系和與track生產設備一模一樣的結構設計和程度，使方法更富有真實技術應用目的；AC200在同行成品中**的較先達到了5000RPM/s的高速選轉促進度，加強組織領導高速選轉勻膠的比較穩定量分析和高的可重新性。

具體效能質量指標

1：主機電源機箱應用不銹鋼裝飾管板用料（抗電學灼傷易便于）

2：內腔用到易整潔、耐腐化的比較高的分數子物料（HDPE）

3：旋涂程序代碼：多可存100組過程，每組100步，所有布驟可到0.1秒

4：旋涂時速：0-10000rpm

5：旋涂1度：0-50000rpm/s

6：電動馬達旋涂轉動速度固定性精度：＜±1rpm（TN-AC200-SE)；＜±0.1rpm（TN-AC200-PE)

7：發動機轉速的調節計算精度及重覆性：1rpm（TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE)

8：AC200-PE另帶渦流阿拉伯數字提示、電源開關阻力改善和智能的水平提示功用

9：加工時期沒置：0-3000sec/step，的時間設為精準度：0.1sec

10：的支持wafer盡寸：覺醒石至200mm（8''圓晶）

11：旋涂高空作業均衡性：＜±3%在6屏幕尺寸使用范圍內（需要剔除表面3亳米測量方法）

軟件性質益處

1：**的的內部主體工程裝修設計，調大了環保設備的寸尺

2: 采取75英寸手觸屏調整面板開關，方法更好便捷的

3：用“封閉碗”裝修設計，需要適宜各類材料的勻膠技術。

4：標分配的轉動速度為10000rpm，應該隨著用戶賬戶須要去全屋定制

5：利用化學工業級的臺達伺服直流無刷無刷主軸電機直流無刷無刷主軸電機，直流無刷無刷主軸電機*的設計構思可能不要光刻膠等污染源物來到直流無刷無刷主軸電機室內

6：外觀備選耐堿堿、耐的沖擊、耐浸蝕冷庫保溫隔熱板的表層，有銹，方便洗滌。

7：通風口扇和抽氣裝置坐落在載片臺的頂端，有助通風口扇高效率和勻膠的均一性

8：透明化可視，耐生物學腐燭的密封膠蓋，應該在旋涂做業時*隔光阻的數組越界及有效率隔制癌氨味的揮發。